همه محصولات
مواد فیلتر فلزی 1μm برای تصفیه گاز در فرآیند نیمه رسانا --- تولید وافره با کنترل AMC
برای نمونه و کوپن رایگان با من تماس بگیرید.
واتساپ:0086 18588475571
وی چت: 0086 18588475571
اسکایپ: sales10@aixton.com
اگر نگرانی دارید، ما به صورت آنلاین 24 ساعته راهنمایی می کنیم.
xجزئیات محصول
| طول | 80-100 میلی متر | Packing | flexible |
|---|---|---|---|
| Application | Semi-conductor Gas Filter/High Purity Gas Filters Solution | مواد | فولاد ضد زنگ 316L/Hastelloy C22/C59/نیکل 200 |
| قطر | 1um/1.5um/2um |
توضیحات محصول
عنصر فیلتر فلزی 1μm (((در مقیاس نانو)برای تصفیه گازهای فرآیند نیمه هادی
نوع محصول: فیبر کوتاه فولادی ضد زنگ 316L
قطر فیبر: 1um/1.5um/2um در دسترس است
طول برش: 80-100um
ترکیب شیمیایی مواد اولیه ((Wt٪))
|
عناصر |
C |
آره |
م
|
نه
|
Cr
|
مو
|
S
|
P
|
|
استاندارد
|
≤0.03
|
≤1.00
|
≤2.00
|
10 تا 14
|
16 تا 18
|
دو تا سه
|
≤0.03
|
≤0.045
|
|
ارزش
|
0.028
|
0.56
|
0.5
|
10.85
|
16.97
|
2.1
|
0.003
|
0.027
|
در تولید نیمه هادی، حفظ گازهای فراینده با خلوص فوق العاده بالا برای جلوگیری از نقص ها و اطمینان از بازده های بالا بسیار مهم است.رسانه های فیلتر فلزی نقش مهمی در تصفیه گاز با حذف آلاینده های ذرات دارند و همچنین به کنترل آلودگی مولکولی هوا کمک می کنند.که برای تولید پیشرفته وافره ضروری است.
ویژگی های کلیدی و مزایای آن
فیلتر کردن با کارایی بالا (1μm Retention)
ذرات زیر میکروونی را که می توانند باعث نقص در فرآیند های فوتولیتوگرافی، حکاکی و رسوب شوند، جذب می کند.
خطر آلوده شدن سطح وافر را کاهش می دهد و بهره وری را بهبود می بخشد.
از نظر شیمیایی بی اثر و مقاوم در برابر خوردگی
از مواد خالص ساخته شدهفولاد ضد زنگ (316L) ، نیکل یا آلیاژ های سینتر شدهبرای سازگاری با گاز های تهاجمی (به عنوان مثال، HF، HCl، NH3).
در برابر گاز خارج شدن مقاومت می کند و از آلودگی بیشتر جلوگیری می کند.
قابلیت کنترل AMC
برخی از فیلترهای فلزی پیشرفته شاملدرمان های سطحی یا پوشش(به عنوان مثال، غیرفعال سازی، الکتروپولیش) برای به حداقل رساندن جذب/ازشرب مواد ارگانیک یا اسید های فرار.
کمک می کند تا ملاقاتSEMI F21 AMC کلاس 1الزامات برای فرآیندهای حساس مانند EUV Lithography.
مقاومت در برابر دما و فشار بالا
عملکرد پایدار در شرایط سخت (تا 500 درجه سانتیگراد یا بالاتر برای برخی از آلیاژ ها).
مناسب برایCVD، انتشار و کاشت یونخطوط گاز
عمر طولانی و قابل تمیز کردن
قابل استفاده مجدد پس از تمیز کردن (طریقات فوق صوتی، شیمیایی یا حرارتی) ، کاهش هزینه مالکیت.
طراحی کاهش فشار کم برای جریان گاز با مصرف انرژی.
کاربرد در تولید نیمه هادی
تحویل گاز با خلوص فوق العاده بالا (UHP)(N2, Ar, H2, O2, و غیره)
فرآیند های حکاکی و رسوب(CVD، PVD، ALD)
عکس لیتوگرافی(محیط های حساس به AMC EUV/DUV)
فیلتراسیون گازی و محل استفاده (PoU)
چرا فیلترهای فلزی به جای گزینه های دیگر استفاده می شود؟
دوام عالیدر مقابل فیلترهای پلیمر (که می توانند ذرات را تخریب و از بین ببرند).
هيچ فايبر از دست نميرهبرخلاف فیلترهای سنتی HEPA/ULPA.
کاهش بهتر AMCدر مقایسه با فیلترهای ذرات استاندارد.
انطباق و استانداردها
SEMI F20(کنترول ذرات)
SEMI F21(تصنیف AMC)
ISO 14644-1(استانداردهای اتاق تمیز)
نتیجه گیری
رسانه های فیلتر فلزی 1μmیک راه حل قوی برای تصفیه گاز نیمه هادی است که ترکیبی ازتصفیه ذرات، کنترل AMC و مقاومت شیمیاییبرای پاسخگویی به خواسته های سختگیرانه تولید وافرهای پیشرفته.
محصولات توصیه شده
